67e548_0022 5 250 90000
67e548_0022.dat 16 409.836(0)/mV 16 0 3330 15748 0 I
67e548_0022.dat 16 409.836(0)/mV 16 0 -12 34680 0 II
67e548_0022.dat 16 409.836(0)/mV 16 0 -4 20245 0 III
67e548_0022.dat 16 409.836(0)/mV 16 0 457 15689 0 V
67e548_0022.dat 16 200.0(0)/mV 16 0 936 26240 0 PLETH