86164656_0031 2 62.4725/999.56(37616384) 16 86164656_0031p.dat 516x2 4096(0)/NU 12 2048 0 2332 0 Pleth 86164656_0031r.dat 516 1637(1230)/Ohm 12 2048 0 65248 0 Resp